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光刻机
编辑:0次 | 浏览:116次 词条创建者:视野人文     创建时间:2024-04-19 12:12:26
标签: 光刻机

摘要:光刻机（标籤mask  校准器）又称掩模对准曝光机，是芯片制造过程中光刻工艺的核心设备。芯片的制造过程极其复杂，而光刻是制造过程中最关键的一步光刻技术决定了芯片的关键尺寸，在芯片的整个制造过程[阅读全文]